準分子激光器工作過程中，混合氣會出現慢性損耗，會導致激光器性能下降，高壓氣瓶不是全密封的，需要定期給激光器充氣，充氣間隔可以是10^3~10^6個激光脈沖，以觀察到明顯的性能下降為準。

　　電極材料選用鎳或溴，不再使用基于有機材料制造的潤滑、密封、絕緣材料，這些措施可以使準分子氣體的壽命延長到10^8個脈沖量級。所謂準分子激光，是指受激二聚體所產生的激光，之所以產生稱為準分子，是因為它不是穩定的分子，是在激光混合氣體受到外來能量的激發所引起的一系列物理及化學反應中曾經形成但轉瞬即逝的分子，其壽命僅為幾十毫微秒。

　　準分激光是一種氣體脈沖激光，所產生的是波長為193nm的準分子激光，它是一種超紫外線光波，此波長的激光吸收范圍窄，激光的能量幾乎*被角膜上皮細胞和基質吸收，超過這個范圍的組織不會吸收到激光，每一個激光脈沖可以切削0.2到0.25um厚度的生物組織，所以周圍的組織不會損傷。

　　準分子激光與生物組織作用時發生的不是熱效應，而是光化反應，所謂光化反應，是指組織受到遠紫外光激光作用時，會斷裂分子之間的結合鍵，將組織直接分離成揮發性的碎片而消散無蹤，對周圍組織則沒有影響，達到對角膜的重塑目的，能消融人眼角膜預計去除的部分空間精確度達細胞水平，不損傷周圍組織。它的波長短，不會穿透人的眼角膜，因此對于眼球內部的組織沒有任何不良的作用。

　　準分子激光器采用高壓快放電激勵，主要包括：整機控制系統、激勵源、放電腔、諧振腔、水電氣輔助系統，一般還包括線寬壓窄模塊、脈沖展寬模塊等。激勵源產生高壓快脈沖，通過放電腔對工作氣體放電激勵形成粒子數反轉，由于增益較大，一般采用平-平結構的諧振腔形成激光輸出。輔助系統提供配電、工作氣體、冷卻水等，激光器整體運行由整機控制系統控制。